關(guān)于動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)
菲鐳泰克致力于3D動(dòng)態(tài)聚焦技術(shù)已有10多年的歷史。我們希望將這項(xiàng)技術(shù)應(yīng)用于工業(yè)，支持工業(yè)應(yīng)用升級(jí)。
關(guān)于菲鐳泰克 3D動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)
? ? ? ? 將第三個(gè)軸Z軸添加到標(biāo)準(zhǔn)X Y軸組成了3D動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)。
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? ? ? ? 其原理是利用動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)控制，突破傳統(tǒng)打標(biāo)的維度和幅面限制，可以在大幅面、
3D曲面、臺(tái)階、錐面、斜面等物件進(jìn)行無(wú)失真標(biāo)刻。
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? ? ? ? 在工作過(guò)程中，Z向動(dòng)態(tài)軸與XY軸振鏡協(xié)同控制，在不同的掃描位置調(diào)整焦距，實(shí)時(shí)
調(diào)整光斑，可確保整個(gè)加工過(guò)程中焦點(diǎn)光斑軟件可控，相比傳統(tǒng)振鏡可以獲得更高的精度。
同時(shí)，焦點(diǎn)補(bǔ)償在微秒間完成，效率高。
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? ? ? ? 在評(píng)估其標(biāo)刻效果時(shí)，還與Z向動(dòng)態(tài)軸前后運(yùn)動(dòng)調(diào)焦的：重復(fù)性、分辨率、線性度、
溫度漂移有關(guān)。
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? ? ? ? 菲鐳泰克振鏡通過(guò)高精度位置傳感器校準(zhǔn)平臺(tái)測(cè)試，Z向動(dòng)態(tài)軸的線性度、溫漂、分辨率
等指標(biāo)均通過(guò)測(cè)試可看得見(jiàn)。
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? ? ? ?通過(guò)測(cè)試后菲鐳泰克再與實(shí)際應(yīng)用結(jié)合，選擇內(nèi)部連載式開(kāi)放設(shè)計(jì)，讓激光器輸入光
斑產(chǎn)生的熱聚集對(duì)Z向影響非常小，保持在24小時(shí)以上高穩(wěn)定性，不容易卡死。
2.5D和3D動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)的區(qū)別
2.5D后聚焦動(dòng)態(tài)系統(tǒng)
是后聚焦裝置。它與F-theta場(chǎng)鏡配合使用。
工作原理：
? ? ? ? 2.5D后聚焦動(dòng)態(tài)系統(tǒng)的Z向動(dòng)態(tài)軸負(fù)責(zé)調(diào)節(jié)加工平面上的中心圓點(diǎn)焦距，隨著加工深度的變化，Z向軸做跟隨深度微調(diào)，整個(gè)工作幅面的焦距由場(chǎng)鏡調(diào)節(jié)。
適用工藝：
? ? ? ? 2.5D后聚焦動(dòng)態(tài)系統(tǒng)的通光孔徑一般不會(huì)超過(guò)20mm，加工幅面也是以小幅面為主，特別適用于深雕與小幅面微孔加工等精密微加工領(lǐng)域。
2.5D工作圖
3D前聚焦動(dòng)態(tài)系統(tǒng)
是前聚焦裝置。
工作原理：
? ? ? ?通過(guò)軟件控制Z向動(dòng)態(tài)軸與XY軸的聯(lián)合協(xié)同，隨著掃描位置的不同，Z向動(dòng)態(tài)軸前后移動(dòng)聚焦補(bǔ)償，保障光斑在整個(gè)工作范圍內(nèi)的均勻性與往返加工的一致性。
適用工藝：
? ? ? ?3D前聚焦系統(tǒng)加工平面與曲面時(shí)，Z向軸可以靈活的前后移動(dòng)聚焦補(bǔ)償，不受場(chǎng)鏡限制，因此可以有更大的通光孔徑與幅面選擇，在曲面、超大幅面的加工應(yīng)用中尤為適合。
? ? ? ?目前菲鐳泰克量產(chǎn)的3D動(dòng)態(tài)聚焦系統(tǒng)可以做到70mm通光孔徑，2.4米幅面*無(wú)限長(zhǎng)的加工范圍。
3D工作圖
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